SILICON CARBIDE CANTILEVER SILOIRE
Réimsí Iarratais: I bhfoirnéisí idirleathadh agus foirnéisí idirleata ocsaídiúcháin ardteochta a úsáidtear sa tionscal déantúsaíochta leathsheoltóra chun fás teirmeach agus ocsaídiú sliseog sileacain a dhéanamh, tá an paddle cantilever ina phríomhchuid den chóras luchtaithe wafer chun aonfhoirmeacht an fheadáin wafer agus foirnéise a chinntiú ar feadh níos mó. idirleathadh aonfhoirmeach agus ocsaídiú. Tá ard-neart, ard-íonacht, seoltacht teirmeach ard, gan aon porosity, friotaíocht le creimeadh aigéad agus alcaile, gan aon éilliú ag teocht ard, cobhsaíocht turraing teirmeach maith, agus cumas luchtaithe ard ag baint le paddles cantilever carbide sileacain. In éineacht le comhéifeacht leathnú teirmeach cosúil le bratuithe LPCVD, is féidir le húsáid paddles cantilever chomhdhúile sileacain i LPCVDanna timthriallta glantacháin cothabhála a leathnú go suntasach agus éilliú a laghdú go mór.
Cur síos
Ceann de na príomhbhuntáistí a bhaineann leis an sciodar fionraí chomhdhúile sileacain ná a chumas torthaí comhsheasmhacha agus aonfhoirmeacha a sheachadadh. Tá an sciodar in ann bailchríoch réidh agus cáilíocht dromchla den scoth a sholáthar, ag cinntiú go bhfuil na codanna meaisínithe saor ó scratches, scoilteanna nó lochtanna eile.
Buntáiste eile a bhaineann le sciodar fionraí chomhdhúile sileacain ná go bhfuil sé neamhdhíobhálach don chomhshaol. Níl aon chomhdhúile guaiseacha nó ceimiceáin tocsaineacha sa sciodar, rud a fhágann go bhfuil sé sábháilte é a úsáid agus a dhiúscairt.
Ina theannta sin, tá sciodar fionraí cairbíde sileacain an-éifeachtach ó thaobh costais de mar go laghdaítear go mór cur amú ábhar agus am próiseála. Tá an sciodar in ann ábhar a bhaint ag ráta níos tapúla ná na teicnící traidisiúnta meilt agus snasta, rud a mhéadaíonn éifeachtacht an phróisis déantúsaíochta.
